Kontakt

Dipl. Ing. Volker Zibat

Tel. 0721 608-48682, -46507, -45264 (volker zibat ∂does-not-exist.kit edu)

Quelle

Schottky Feldemitter

Energie

Einige 100 eV bis 30 keV (Sekundär- und Rückstreuelektronenabbildung)

Detektoren

Bruker EDXS Quantax 400 mit SDD Detektor

Everhart-Thornley-Detektor (ETD) im Hochvakuum

Large field detector (LFD) in Niedrigvakuum

Rückstreuelektronendetektor (BSE) im Hoch- und Niedrigvakuum
Sekundärelektronendetektor (SE) für ESEM Modus
Rückstreuelektronendetektor (BSE) für ESEM Modus
WetSTEM-Detektor

Probenhalter

Kryo-Probentisch für Untersuchungen bei Temperaturen bis zu -100 °C in Kombination mit Kryo-Transfersystem und Leica MED 020 mit Gefrierbruch-Präparation z.B. zur Abbildung wasserhaltiger Proben
Probenhalter mit Peltier-Element für Temperaturen von -20 °C bis +55 °C

Auflösung

Sekundärelektronenabbildungen 1,2 nm bei 30 keV und 3 nm bei 1 keV im Hochvakuummodus, 1,5 nm bei 30 keV im Niedervakuum- und ESEM Modus

Bildgebende Verfahren /

Spektroskopische Methoden

Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDXS)

Environmental scanning electron microscope (ESEM), Abbildung von wasserhaltigen Proben bei Drücken bis maximal 4000 Pa, abhängig von der Gasart