Kontakt

Dipl. Ing. Volker Zibat

Tel. 0721 608-48682, -46507, -45264 (volker zibat ∂does-not-exist.kit edu)

Quelle

Schottky Feldemitter

Energie

Einige 100 eV bis 30 keV (Sekundär- und Rückstreuelektronenabbildung)

Detektoren

EDXS detector

Everhart-Thornley-Detektor (ETD)

Robinson's Backscattered electron (BSE) Detektor

In-lens Detektor

Auflösung

Sekundärelektronenabbildung 1 nm bei 20 keV und 3 nm bei 1 keV

Bildgebende Verfahren /

Spektroskopische Methoden

EDXS

EBSD-System zur Analyse von Kristallorientierungen und Mikrotexturen