Kontakt
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Tel. 0721 608-48682, -46507, -45264 (volker zibat ∂does-not-exist.kit edu) |
Quelle |
Schottky Feldemitter |
Energie |
Einige 100 eV bis 30 keV (Sekundär- und Rückstreuelektronenabbildung) |
Detektoren |
EDXS detector |
Everhart-Thornley-Detektor (ETD) |
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Robinson's Backscattered electron (BSE) Detektor |
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In-lens Detektor |
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Auflösung |
Sekundärelektronenabbildung 1 nm bei 20 keV und 3 nm bei 1 keV |
Bildgebende Verfahren / Spektroskopische Methoden |
EDXS |
EBSD-System zur Analyse von Kristallorientierungen und Mikrotexturen |