Kontakt

Nadejda Firman

Tel. +49 721 608 - 4 7003 (nadejda firman ∂does-not-exist.kit edu)

Quelle

Duale Miniatur Penning Ionenquellen (PIGs)

Ionen

Ar⁺

Kippwinkel Quellen

Jeweils ± 10 °

Vakuum

≥ 7 × 10^-6 mbar

Vakuumsystem

Ölfrei durch molekulare Widerstandspumpe (MDP) und 2-stufige Membranpumpe (DP)

Spannung Ionenstrahl

0,1 – 8,0 kV

Probenhalter

„Gatan Specimen Post“ für einseitiges Fräsen

„DuoPost“ für zweiseitiges Fräsen

Probengröße

3 oder 2,3 mm

Mikroskop

Optionales optisches Stereomikroskop

„Digital Zoom Microscope“: In-situ-Beobachtung durch Digitalkamera

Probenaustauschdauer

< 30 s (Wisperlok™ Stage)

Temperatur

Kühlung mit flüssigem Stickstoff

Verwendung

Halbleiter

Metalle (Oxide, Legierungen)

Keramik

Bedienung

Touchscreen

Automatisches Enden via Lichttransmission