Kontakt

Dr. Erich Müller

Tel. 0721 608-48294 (erich mueller ∂does-not-exist.kit edu)

Quelle

 Schottky FEG

Ba-LMIS (FIB)

Energie

Einige 100 eV bis 30 keV

Detektoren

Everhart-Thornley-Detektor (ETD)

Through-the-Lens-Detektor (TLD)

STEM-III-Detektor: Hellfeld- (BF) a+b, Dunkelfeld- (DF) a+b+c, high-angle annular dark-field (HAADF) Detektor in Kombination mit einer Flip-Stage

EDXS-Detektor: Bruker XFlash 5010 Siliziumdriftdetektor (SDD) (< 123 eV FWHM Mn Kα-Linie, Moxtek AP 3.3 Fenster, 10mm2 Detektorfläche)

Restgasanalysator by Pfeiffer Vacuum

Kamera

2 Lichtkameras

Probenhalter

Flip-Stage mit 6 elektronentransparenten Proben gleichzeitig

 

Auflösung

 1 nm bei 30 keV (STEM)

7 nm (FIB)

Bildgebende Verfahren / Spektroskopische Methoden

Detektierte Elektronen: sekundäre (SE), rückgestreute (BSE), transmittiert (STEM)

Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX)

Zubehör

Gasinjektionssystem (GIS) für Pt und W Abscheidung

OmniProbe Manipulator “AutoProbe”

Kühlfalle

In-situ-Plasmareiniger von Evactron